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高频压力传感器的精度会受哪些因素影响?

2022年07月25日 181

高频压力传感器一般是利用半导体硅极高的杨氏弹性模量和优良的力学特性制成,使传感器具有很高的固有频率,结合内外部结构设计,减小了频率损耗。从而获得很高的响应频率和上升时间,是测量高频动态压力的理想产品。

 高频压力传感器的精度会受哪些因素影响?

在选择高频压力传感器的时候我们要考虑它的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。

 

首先的偏移量误差:由于高频压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。

 

其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。

 

第三是线性误差:这是一个对高频压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。

 

最后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

 

高频压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用最新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一定的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。

 

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